Типи матеріалів КНІ

На даний момент найбільш широко використовуваними та перспективними матеріалами для КНІ є матеріали SIMOX (Separation by Implanted Oxygen), матеріали BESOI (Bonding-Etchback SOI) із склеюванням кремнієвих пластин і зворотним травленням, а також матеріали Smart Cut SOI, які поєднують склеювання та ін’єкцію. Серед цих трьох матеріалів SIMOX підходить для виготовлення тонкоплівкових повністю збіднених надвеликих інтегральних схем, матеріали BESOI підходять для виготовлення частково збіднених інтегральних схем, а матеріали Smart Cut є дуже перспективними матеріалами для КНІ, які, ймовірно, стануть основні матеріали SOI у майбутньому.
Область застосування
На додаток до своїх унікальних переваг, він використовується в інтегральних схемах, а також використовується у виробництві мікро-оптико-електромеханічних систем MEMS, таких як тривимірні дзеркальні перемикачі. Дзеркало формується шляхом формування рухомого дзеркала в активному шарі підкладки КНІ та з’єднання його з підкладкою іншого ступінчастого електрода. Оскільки використовується монокристалічна кремнієва підкладка, а відбивна плівка утворюється симетрично на верхній і нижній поверхнях рухомого дзеркала діаметром 500 мікрон за однакових умов, вона має короблення 10 нанометрів і шорсткість поверхні десятки нанометрів.